一、真空泵简介
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。
二、真空泵的特点
1、在较宽的压力范围内有较大的抽速。
2、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速。
3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。
4、泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。
5、压缩比较低，对氢气抽气效果差。
6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
三、真空泵的分类
按结构特点分为：
1、变容真空泵：利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
（1）往复式真空泵：利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
（2）旋转式真空泵： 利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类：
1）油封式真空泵：利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2）液环真空泵：将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3）干式真空泵：是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4）罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
2、动量传输泵：它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式：
（1）分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：
1）牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
2）涡轮分子泵：靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3）复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
按其工作原理，分为：
1、气体输送泵包括：液环真空泵(水环式真空泵)；往复式真空泵；旋片式真空泵；定片式真空泵；滑阀式真空泵；余摆线真空泵；干式真空泵；罗茨真空泵；分子真空泵；牵引分子泵；复合式真空泵；水喷射真空泵；气体喷射泵；蒸汽喷射泵；扩散泵等。
2、气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
四、真空泵的应用
1、电力行业：冷凝器抽真空、真空吸水、烟气脱硫、飞灰输送、涡轮机密封管排气、真空排气、排出地热气。
2、石油化工行业：气体回收、瓦斯气体回收、燃气升压、强化的石油回收、气体收集、原油稳定化、原油真空蒸馏、排 气压缩、蒸汽回收/气体升压、过滤/除腊、尾气回收、聚酯生产、PVC生产、氯气包装、循环气压缩、变压吸附（PSA）、液氯生 产、乙炔与氢气等易燃易爆气体压缩、原油减压蒸馏中的塔顶真空系统、真空结晶与干燥、真空过滤、各种物料的真空输送。
3、制药行业中：干燥 (托盘、旋转、翻转、锥形和冷冻干燥器)、再生产/反应堆干燥、蒸馏、除气、晶化/汽化、加注和 /或材料转移。
4、纸浆和纸张生产：黑液蒸发、粗浆洗浆机、石灰泥浆和过滤器、沉淀物过滤器、真空脱水机、原料和白水除气系统、 调浆箱压缩机、吸水箱、伏辊、吸移辊和传递辊、真空压榨、毛布吸水箱、防吹箱。
5、塑料行业：挤出机除气、定型台 (剖面)、EPS 发泡、干燥、气动输送装置、氯乙烯气体抽取和压缩。
6、环保行业：废水处理、沼气压缩、真空加水、废水净化/活性污泥箱氧化、鱼塘通风、垃圾产生气体回收（生物气体） 、沼气回收 (生物气体)、废物处理机。
7、食品和饮料行业：鲑鱼清洁机、矿泉水除气、色拉油及脂肪除臭、茶叶和调味品杀菌、香肠火腿生产、烟草制品湿化。
五、真空泵的使用注意事项
1、正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的真空泵还要测定真空泵的极限压强，应符合技术规范。真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至于抽速的测定.由于比较复杂，一般不作检查。
2、需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。
3、首次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。
4、真空设备应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源，温度过高的地方也不适合。
5、拆洗和装配机械真空泵时必须注意不要碰伤密封面，不要损失螺钉，清洗干挣的部件要吹干或供干(温度不宜过高、时间不宜过长。装配时真空泵壁抹上少量油脂，尽可能消除死空间，油量以油线为淮，过量会喷油。
6、连续真空泵与被抽系统的管道应尽可能短而粗，管道内径一般应不小干真空泵进气口直径，以避免由干管道阻力而影响抽气速率。
7、使用前，检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。同时，必须检验电动机皮带轮的旋转方向。观察者正对皮带轮，皮带轮应按顺时针方向旋转，若反方向旋转时，可把相电源中任意二相接头对换一下即可。否则，旋片真空泵不起抽气作用反而会把真空泵油和大气打入被抽系统，造成严重污染。
8、长时间停机启动真空泵前，应断续多次启动真空泵。
9、要注意防止坚硬物质(金属屑、玻璃碎片等)落入真空泵内，划伤真空泵的运动部件。真空泵长期停止使用时，应存放在干燥、请洁的环境中，并将抽气口和排气口堵死，防止污物落入。
10、为保持工作室内清洁卫生，有利于工作人员的身体健康，应用皮管将排出的气体直接引到室外。
11、在长期停用真空泵时，应对真空泵进行放油处理。
12、工作结束后.应先关高真空阀，后关低真空阀.再停旋片真空泵，然后对其放气(如使用电磁真空带放气阀，可以自动放气)以防止油返回到真空系统，最后切断总电源。
13、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
14、定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
15、真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
16、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。
17、真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
18、检查管道接口处螺纹与进气口螺纹是否一致。
六、真空泵的价格行情
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